產(chǎn)品介紹

日立掃描電子顯微鏡

SU8600

高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

*設(shè)備照片包含選配項(xiàng)。

SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場(chǎng)成像技術(shù)，同時(shí)還提升了高通量、自動(dòng)數(shù)據(jù)獲取能力。

特點(diǎn)

*高分辨成像

日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下，也可獲得高分辨的圖像。

高襯度的低加速電壓背散射圖像

3D NAND截面觀察;

在低加速電壓條件下，背散射電子信號(hào)能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。

快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測(cè)器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測(cè)器，即使掃描時(shí)間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.

自動(dòng)化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動(dòng)化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設(shè)置放大倍率、移動(dòng)樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對(duì)比度等。用戶可以通過(guò)簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個(gè)工作程序。經(jīng)過(guò)調(diào)試和確認(rèn)后，該程序便可以在每次調(diào)用時(shí)自動(dòng)獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

靈活的用戶界面

原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時(shí)顯示與保存，實(shí)現(xiàn)快速的多信號(hào)觀測(cè)與采集。

日立掃描電子顯微鏡

技術(shù)參數(shù)

*減速模式下